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质量成分：组成气体的质量与混合气体的总质量之比，用wi表示。  ③摩尔成分：摩尔是物质的量单位。若一系统中所包含的基本单元数与0.012千克碳－12原子数，目相等,则该系统的物质的量为1摩尔。组成气体的摩尔数与混合气体的总摩尔数之比，用xi表示

通常，高纯气体系指气体中含较少杂质气氛(纯度)，微量水份(干燥度)污染物粒子的娄量保持在低限度，其粒度也应是小的(洁净度)。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净是三项重要的标度。

特别是近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，其重要程度已不亚于对纯度和干燥度有严格要求的用气工艺，无一不对其中的粒子提出限制。

灌气，需要先对小气瓶排气

如果是 次灌气，在灌气开始之后执行如下操作：立刻关闭工业气瓶阀门，再关闭小气瓶阀门，然后拆下小气瓶一端输气管，打开小气瓶阀门进行放气。目的是将小气瓶内的空气排出（让气瓶内只有单一的二氧化碳气体，则其液化的温度和压力一致）。然后，再重新连接2个气瓶进行导气，大约3分钟完成导气过程。

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混合气体制备前的方案设计。根据不同种类的混合气体，首***行（毒性、、反应、液化、相容和不相容等）安全评估，再进行公式计算，然后根据不同情况采用不同处理方法。并以书面形式经技术负责人（或相关领导）批准，应以批准后的程序来制备混合气。通常提出的程序将包括气体性质、应急及救护方法、装置或设备的操作规程和每种混合气体充装的具体程序、气体的充装应符合气体充装安全技术中的有关标准规定。