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工业气体的分类方法很多种，例如按照气体自身化学成分可分为：硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的效果可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相堆积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。一起，以上分类存在交叉，例如四（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，一起在化学气相堆积(CVD)中也存在运用。

供气材料的性质在输送标准气体期间与样品气体或校准气体接触的材质应满足下列要求：对所有标准气体无渗透性；吸附效应较少；对所输送的气体呈化学惰性。为某些材料对被输送标准气体的样品气体或校准气体成分的适用性。应当注意的是：聚合材料一般是可渗透的，它们的应用取决于样品气体或校准气体的性质与浓度；对于特殊的应用，在使用前应检验材料的适应性。

集中供气集中供气是一种惰性气体，在空气中所占含量大，约为78%。随着科学技术的发展，集中供气在国民经济的各行各业正日益广泛地应用。集中供气主要用作保护气体、吹扫气体、载气、干燥气体等。在金属热处理工艺过程中集中供气作为保护气体，目的是为提高金属材料、零件的质量、光洁度等。在电子工业中高纯集中供气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。

集中供气工业集中供气的主要生产方法有空分法、变压吸附法、膜分离法和燃烧法等。空分法制取的集中供气纯度高，能耗低。变压吸附法制氮技术是采用5A碳分子筛对空气中的组份进行选择性吸附，将氧、氮分离制取集中供气，集中供气产品压力高、能耗低，产品纯度能达到标准要求：工业氮≥95%，纯氮≥995%。是大气中含量多的惰性气体，其制取方法主要有空分法。在制氧工艺中，将沸点为-189℃左右的馏分从液化分离器中分出即得液亚。